解析受託サービス

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化学分析

●分析評価事例

半導体メーカの分析機関として長年培った評価技術、リソースを駆使しお客様に有益な情報を提供して参ります。

  • クリーンルーム評価: クリーンルーム雰囲気、超純水中不純物
  • 原材料分析評価: フォトレジスト、薬液、CMPスラリー、CMPパッド、リードフレーム
  • コンタミネーション分析評価: ウェハ表面、酸化膜、金属膜、装置内汚染
  • 異物解析評価: パッケージ、顧客返品の付着異物解析
  • 環境負荷物質評価: RoHS、REACH、ハロゲンフリー等

●分析評価事例

微量分析に必要な環境、器具、試薬の採用により、pptレベルの分析を実現しています。

  • クリーンルーム環境
  • 電子工業用高純度試薬
  • 超純水(>18.2MΩ)
  • 石英製インピンジャー
  • PFAボトル
  • マイクロピペット
  • PFAメスフラスコ

超純水中不純物の検出下限

No 測定物質 検出下限
(ppt)
No 測定物質 検出下限
(ppt)
1 F 10 13 モノエタノールアミン(MEA) 30
2 Cl 2 14 モノメチルアミン 0.5
3 Br 10 15 ジエタノールアミン(DEA) 6
4 NO2 3 16 エチルアミン 1
5 NO3 10 17 ジメチルアミン 1
6 PO4 10 18 トリエタノールアミン 30
7 SO3 - 19 トリメチルアミン 2
8 SO4 10 20 ジエチルアミン 3
9 Na 0.5 21 Fe 1
10 K 0.5 22 Cu 1
11 Mg 0.5 23 Ni 2
12 Ca 1 24 Zn 10

 

●分析評価対象項目

前処理技術、分析装置を使い分けることにより、元素、イオン、化合物等様々な化学形態を測定しています。

  • 陰イオン(F,Cl,NOx,Br,PO4 ,SOx等)
  • 陽イオン(Na,Mg,K,Ca,NH4等)
  • 有機イオン測定(アミン、脂肪族、芳香族系有機酸等)
  • 金属元素(Al,Bi,Cd,Cr,Cu,Fe,Hg,Ni,Pb,Sn,W,Zn等)
  • 微粒子組成(B,C,Fe,Cu,Zn,Si,Na等 )
  • 微粒子数(粒径φ0.1μm~φ2μm)
  • その他(pH、水分、粘度、樹脂濃度、紫外線吸収量、バクテリア数)

 

●分析値の信頼性

法令準拠: RoHS指令の国際規格であるIEC62321に準拠した測定を実施
分析値のクロスチェック: (社)日本分析化学会 主催の「プラスチック成分分析 技能試験」に参加し、ほぼ中央値を報告しています。(ブラインドテスト、2006年/140試験所、2007年/104試験所、2008年/92試験所、2009年/96試験所)
分析技術者の教育: (社)日本分析化学会の教育訓練を受講(注1)した作業者が実施しています

第5回プラスチック分析技能試験結果 (ppm)

Cd Cr Pb Hg Br
弊社報告値 46.91 54.34 73.97 36.58 67.50
Median値 47.52 55.50 76.70 38.46 67.35
偏差(%) -1.3 -2.1 -3.6 -4.9 +0.2
Z-score(注2) -0.46 -0.55 -0.86 -0.95 +0.02

(注1):プラスチック中有害金属成分の化学分析技術セミナー
     有害物質規制/ RoHS指令対応(実技と試験)
(注2): Z-score
     試験所の平均値の全体のメディアンからの隔たりを見る指標
     |z|≦2:満足、2<|z|<3:疑わしい、3≦|z|:不満足

 

●主な分析装置

【無機分析】

  • ICP発光分析装置(ICP-OES)
  • フレームレス原子吸光光度計(AAS)
  • イオンクロマトグラフ
    (アニオン、カチオン、メタル) (IC)
  • 水銀分析装置(CV-AAS)
  • 蛍光X線分析装置(XRF)

【有機分析】

  • 有機イオンクロマトグラフ (Organic IC)
  • 顕微FT-IR (μ-FT-IR)

【その他】

  • レーザパーティクルカウンタ(LPC)

顕微FT-IRによる異物の同定分析

 

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